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仪器厂，中科院109所以及西安504所共同研发出来的第3代国产光刻机，已经赫然的放置在C区左侧的位置，总共是一个批次4台机器，而这次研发出来的新一代储存量为32MB的NAND闪存芯片，就是由这种光刻机制造出来的。
其实对于新一代国产光刻机的研发，段云一直都很关注，从技术上来说，这一批的国产光刻机大量借鉴了阿斯麦一微米制程的光刻机技术，其中在关键镜片的打磨方面，也是国家通过香港那边的爱国商人，从欧美购置的相关设备打磨完成的，整个过程比较曲折，但结果还是非常令人满意的。
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